3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀利用白光干涉來測量納米級至微米級的表面形貌，并且具有業(yè)界大視場下的高垂直分辨率。儀器具備多種倍率物鏡（1.25倍-100倍），可以表征具有不同表面形狀和結(jié)構(gòu)的樣品。而且在任何放大倍數(shù)下，系統(tǒng)的縱向范圍都能夠達(dá)到亞-埃至毫米級。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀使測量結(jié)果不管在科研還是工業(yè)環(huán)境中都具有超高的可靠性和可重復(fù)性。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀簡潔的操作界面通過對測量和數(shù)據(jù)獲取過程的簡化大大提高了系統(tǒng)和人力效率；的可視工作流程工具提供了直觀的分析選項(xiàng)。3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀可廣泛的應(yīng)用于：機(jī)械，光伏材料，電子材料，航空航天，光學(xué)材料和醫(yī)療器械等領(lǐng)域。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的傾斜測量頭為用戶提供了的靈活性，實(shí)現(xiàn)快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結(jié)合頭部傾斜功能，光學(xué)輪廓儀這一技術(shù)實(shí)現(xiàn)了將觀察位置保持在焦平面處，為用戶實(shí)際使用時(shí)帶來了很大便利。
準(zhǔn)確追蹤和使用的簡便性對于在不同表面上快速檢測是至關(guān)重要的，這樣在批量測試時(shí)速度也大大提高。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的功能：
1)一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能。
2)測量中提供自動(dòng)多區(qū)域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
3)測量中提供拼接測量功能。
4)分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。